| 专利名称 | 一种精确进针的四探针测试仪 | 申请号 | CN201721792688.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207623414U | 公开（授权）日 | 2018.07.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 李锐;鲁远甫;魏广路;邹建雄;焦国华;吕建成 | 主分类号 | G01R27/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R27/02(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种精确进针的四探针测试仪 至一种精确进针的四探针测试仪 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种精确进针的四探针测试仪，通过其进针监控系统中的显微镜对进针进行监控，从而实现精确进针，可避免探针扎破薄膜型的待测样品而发生误测，所述四探针测试仪可通过其真空系统为待测样品提供高真空环境，而且其配置的温控系统能在稳定且连续的温度变化下，对待测样品进行加热，从而能精确且便捷地测出待测样品的在温度变化下的方阻、电阻率和电阻温度系数等电学性能参数。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障