一种金属热界面材料的制备装置及方法

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专利名称 一种金属热界面材料的制备装置及方法 申请号 CN201510068006.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105990279A 公开(授权)日 2016.10.05 申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 王磊;刘静 主分类号 H01L23/373(2006.01)I IPC主分类号 H01L23/373(2006.01)I;B01J19/08(2006.01)I;C09K5/12(2006.01)I 专利有效期 一种金属热界面材料的制备装置及方法 至一种金属热界面材料的制备装置及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明具体涉及一种金属热界面材料的制备装置及方法。本发明制备装置包括磁铁、底板、外电极以及内电极;所述磁铁设置于所述底板下方;所述外电极为柱形圆环,所述内电极为柱形,且所述内电极的半径小于所述外电极的内半径;所述外电极和所述内电极固定于所述底板上,且所述内电极位于所述外电极圆环内。所述外电极与所述内电极之间还可设置加热棒。通过内电极和外电极之间的环形空间形成液态金属的搅拌运动通道,安培力作用到金属流体内部的每个体积元上,使得金属流体整体受力运动,加热棒在加热的同时也起到搅拌的作用。同时施加可变方向电压,可以变换搅拌方向;电压加大时,液态金属表面会扭曲翻滚,提高了掺混效率和材料的均匀度。

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