| 专利名称 | 一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置 | 申请号 | CN201510962345.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106249550A | 公开（授权）日 | 2016.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 邓文渊;金春水;喻波;姚舜;靳京城 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置 至一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供的极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置，在真空环境中，通过实时检测极紫外光学元件表面的污染层厚度，当污染层厚度达到预设的第一阈值，即超出允许的范围时对污染层进行清洗，控制污染层的厚度在允许的范围之内，不需要对极紫外光学元件所处环境进行切换，控制过程简单。 |
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