| 专利名称 | 一种微型快速升降温退火炉 | 申请号 | CN201610704094.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106222753A | 公开（授权）日 | 2016.12.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 李强;崔金明;许金时;李传锋 | 主分类号 | C30B33/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B33/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微型快速升降温退火炉 至一种微型快速升降温退火炉 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种微型快速升降温退火炉，主要包括：真空腔体、“三明治”结构加热平台、热电偶温度传感器、PID温度控制器、定时器、直流电源、稳压电源、炉体支架等。真空腔体由四通管道和密封罩构成，并用KF法兰密封，方便取放样品；退火炉整体采用CF法兰密封，腔室内易于达到气压低于10?5Pa的高真空水平；“三明治”结构加热平台由石英支撑板、金属加热薄片和石英样品台构成，加热部件体积小，易于实现快速升降温，无需设置价格高昂的红外加热装置、冷却辅助装置，有效降低快速升降温退火炉的整体成本。本发明具有体积小、能耗低、成本低、操作和维修简便等特点。本发明可以用于小样品的常温退火、快速高温退火、热氧化、通气热处理等。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障