专利名称 | 一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器 | 申请号 | CN201610566175.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN106206830A | 公开(授权)日 | 2016.12.07 | 申请(专利权)人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 发明(设计)人 | 周大华;魏兴战;冯双龙;申钧;杨俊;史浩飞;杜春雷 | 主分类号 | H01L31/101(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器 至一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器,还公开了该红外探测器的制备方法。基于石墨烯夹层式红外吸收层包括热敏层,所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si3N4薄膜。到达热敏层的红外线有三种途径:部分红外线反射回石墨烯层,部分被热敏层吸收红生热,剩余的红外线透过热敏层辐照到Si3N4薄膜。本发明是让从热敏层反射和透射的红外线,尽可能又重新被反射回热敏层,形成“温室效应”的腔体结构。 |
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