一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器

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专利名称 一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器 申请号 CN201610566175.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106206830A 公开(授权)日 2016.12.07 申请(专利权)人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 发明(设计)人 周大华;魏兴战;冯双龙;申钧;杨俊;史浩飞;杜春雷 主分类号 H01L31/101(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器 至一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器,还公开了该红外探测器的制备方法。基于石墨烯夹层式红外吸收层包括热敏层,所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si3N4薄膜。到达热敏层的红外线有三种途径:部分红外线反射回石墨烯层,部分被热敏层吸收红生热,剩余的红外线透过热敏层辐照到Si3N4薄膜。本发明是让从热敏层反射和透射的红外线,尽可能又重新被反射回热敏层,形成“温室效应”的腔体结构。

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