| 专利名称 | 三维指向稳定系统 | 申请号 | CN201610529947.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105928458A | 公开（授权）日 | 2016.09.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院生物物理研究所 | 发明（设计）人 | 罗志勇;付彦辉;张祥;徐涛 | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 三维指向稳定系统 至三维指向稳定系统 | 法律状态 | 著录事项变更 | 说明书摘要 | 本发明属于光学微观测量技术领域，涉及一种三维指向稳定系统，激光器A后在水平光路上依次安装有棱镜、第一分光棱镜、第二分光棱镜、第三分光棱镜、透镜、样品位移台；棱镜垂直向下分光的光路上安装有激光器B；第一分光棱镜垂直向上分光的光路上安装有激光功率稳定系统；第二分光棱镜垂直向下分光的光路上安装有轴向测量系统；第三分光棱镜垂直向上分光的光路上安装有垂轴测量系统；本发明提供的三维指向稳定系统，在激光光源功率稳定的前提下，将共焦测量技术和四象限探测技术相融合，对比共焦响应曲线和四象限变化指向曲线，实现系统三维漂移监测与方向判断，有效避免了系统本身、空气扰动等环境干扰对测量精度的影响。 |
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