| 专利名称 | 基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置 | 申请号 | CN201610261978.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105910630A | 公开（授权）日 | 2016.08.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 发明（设计）人 | 孙长胜;朱永田;胡中文;徐腾 | 主分类号 | G01D5/28(2006.01)I | IPC主分类号 | G01D5/28(2006.01)I | 专利有效期 | 基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置 至基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置：⑴.宽带LED透过小圆孔为光源；⑵.经准直透镜成为准直光束；⑶.第一平板分束器耦合激光和白光；⑷.耦合后经第二平板分束器分为完全相同的两束光；⑸.两束光分别经过相同的反射镜和角隅棱镜，其中一个角隅棱镜放置在高精度直线电机平移台上，以提供高精度光程差控制；⑹.两束光经第三平板分束器合束，同时提供两束光之间的微小倾角；⑺.成像透镜将两束光形成的干涉条纹成像到电荷耦合元件探测器上；⑻.使用算法提取干涉条纹位置；（9）.计算两光束之间的光程差，得到测量结果。本发明对大气湍流不敏感。最大误差0.159微米，小于平均波长。精度满足条纹相干的要求。 |
1、源头对接，价格透明
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