一种无铝型II类超晶格长波双势垒红外探测器

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专利名称 一种无铝型II类超晶格长波双势垒红外探测器 申请号 CN201610351898.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105789364A 公开(授权)日 2016.07.20 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 周易;陈建新;王芳芳;徐志成 主分类号 H01L31/101(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/101(2006.01)I;H01L31/11(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I 专利有效期 一种无铝型II类超晶格长波双势垒红外探测器 至一种无铝型II类超晶格长波双势垒红外探测器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种无铝型II类超晶格双势垒长波红外探测器,其具体结构为GaSb衬底向上依次为超晶格长波N型接触层、超晶格空穴势垒层、超晶格长波吸收区、超晶格中波电子势垒层和超晶格长波P型接触层,上电极TiPtAu位于超晶格长波N型接触层上,下电极TiPtAu位于超晶格长波P型接触层上。本发明公开的结构利用无铝型双势垒的设计和引入获得暗电流小、探测率高,信噪比大的长波超晶格红外探测器。

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