空间反射镜真空镀膜夹具

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专利名称 空间反射镜真空镀膜夹具 申请号 CN201721316676.7 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN207525328U 公开(授权)日 2018.06.22 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 袁海涛;邓容;孙胜利;王成彬;李耀鹏 主分类号 C23C14/50(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/50(2006.01)I 专利有效期 空间反射镜真空镀膜夹具 至空间反射镜真空镀膜夹具 法律状态 说明书摘要 本专利公开了一种空间反射镜真空镀膜夹具,该夹具包括承载主体、承载方形梁、垂直吊杆、反射镜支撑装置。承载主体上端与电机装置连接,四个承载方形梁均匀分布于承载主体圆柱上,垂直吊杆配合孔与承载方形梁连接,反射镜支撑装置用螺钉连接到垂直吊杆上。反射镜由反射镜支撑装置的安装接口安装至夹具上。夹具与真空罐内电机装置相连接,由电机装置带动夹具转动进行镀膜工作。本专利的优点在于:结构稳定简单、强度高、易装配、总重量轻负载小、以及良好的互换性;夹具采用实体钢梁和钢杆结构可避免多余可挥发物的污染风险;本专利的反射镜支撑装置采用独立可拆卸方式实现反射镜的翻转,从而出色完成反射镜镜面和背面的镀膜任务。

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