| 专利名称 | 一种主动抑制测试光路抖动的装置 | 申请号 | CN201721148344.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207528422U | 公开（授权）日 | 2018.06.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 贾建军;张子玄;吴金才;张亮;强佳 | 主分类号 | G01M11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/00(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种主动抑制测试光路抖动的装置 至一种主动抑制测试光路抖动的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开一种主动抑制测试光路抖动的装置。主动抑制测试光路抖动装置由信标光，分光器，压电快反镜，控制计算机组成。整体方法为在测试光路检测端发射信标光，使用分光器耦合并入测试光，在测试光路中逆向传输到测试光路入光端。测试光路入光端安装有压电快反镜和分光器与检测相机。通过分光器将信标光分离出测试光，用检测相机采集光斑抖动，即为测试光路抖动。控制计算机使用质心算法计算信标光脱靶量控制压电快反镜对抖动补偿。本专利能有效抑制测试光路中由于平台等原因引起的抖动。 |
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