| 专利名称 | 一种可标定系统误差的系统波像差检测方法 | 申请号 | CN201610880580.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106292202A | 公开（授权）日 | 2017.01.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 于长淞;高松涛;彭石军;苗二龙;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种可标定系统误差的系统波像差检测方法 至一种可标定系统误差的系统波像差检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种可标定系统误差的系统波像差检测方法，将被测投影物镜的系统波像差与剪切干涉检测系统的系统误差相减，获得被测投影物镜实际波像差，消除了系统误差的影响，提高了测量精度；采用的小孔空间滤波器可以起到滤波的作用，可以消除照明系统及第一汇聚透镜所导致的像差，提高了系统波像差的检测精度；空间滤波器使得只有±1级衍射光才能通过空间滤波器中的窗口，零级以及更高级次的衍射光都被空间滤波器截至，从而使得噪声减小并且测量精度获得改善。 |
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