| 专利名称 | 一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置 | 申请号 | CN201610557234.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105973967A | 公开（授权）日 | 2016.09.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 发明（设计）人 | 姚明水;徐刚 | 主分类号 | G01N27/414(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/414(2006.01)I | 专利有效期 | 一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置 至一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种气氛可控多器件场效应晶体管(FET)密封测试装置，属于物理测试技术领域。装置分为两个部分：气氛控制单元，包括进气管、出气管、真空表和真空泵；测试单元，包括样品台和电极引出装置，样品台与电极引出装置连接，电极引出装置引出的电极线与数字源表的连接。本装置使用气氛可控，与湿度发生罐、标准气配合能实现不同气氛的调节，与真空泵配合可实现真空气氛，利于质子型FET，气敏FET的性能表征。整个装置可设计为金属环绕，实现法拉第笼的电磁屏蔽功能，利于纳安及以下的精细电流测量。本装置还可实现多个器件同时测量。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障