基于单次曝光模式的光栅衍射效率光谱的测量装置和方法

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专利名称 基于单次曝光模式的光栅衍射效率光谱的测量装置和方法 申请号 CN201610242396.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105928688A 公开(授权)日 2016.09.07 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 刘世杰;王圣浩;张志刚;李灵巧;王微微;周游;潘本威;白云波 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I 专利有效期 基于单次曝光模式的光栅衍射效率光谱的测量装置和方法 至基于单次曝光模式的光栅衍射效率光谱的测量装置和方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置,包括光源模块、参考光模块和测试光模块,光源模块为测试系统提供光源,参考光模块由凹面准直镜、标准参考光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成,用于测量参考光束的光谱参数;测试光模块由凹面准直镜、待测光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成,用于测量测试光束的光谱参数。本发明提高了光栅衍射效率光谱的测试速度,可以实现超快速的光栅衍射效率光谱的测量,可以应用于原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量环境中;在测量过程中,仪器的所有机械结构保持静止,测试系统因而具有较高的机械稳定性。

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