| 专利名称 | 一种光学系统立式装检装置及装检方法 | 申请号 | CN201610322142.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105910552A | 公开（授权）日 | 2016.08.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 康晓鹏;付兴;李华;王鹏;刘军鹏 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学系统立式装检装置及装检方法 至一种光学系统立式装检装置及装检方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光学系统立式装检装置及装检方法，属于精密光学应用技术领域，该装检装置包括调整转台及在调整转台上自下至上依次设置的3个调整支架；调整转台用于放置被装检零件，3个调整支架安装在一固定安装架上，自下至上分别为补偿镜调整支架、干涉仪调整支架和自准平面镜调整支架；3个调整支架均包括竖向导轨和横向导轨，所述竖向导轨与固定安装架固连，横向导轨能够沿竖向导轨上下滑动；本发明能够避免由于重力原因引起的面形问题，装检光路可自由组合调节，可满足不同光学系统的检测需求。 |
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