| 专利名称 | 一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置 | 申请号 | CN201610405784.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105910572A | 公开（授权）日 | 2016.08.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 张珑;郑列华;张金平;叶璐;刘政;胡文琦 | 主分类号 | G01B21/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B21/20(2006.01)I;G01L5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置 至一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑，包括：橡胶垫、面力传感器、浮动头、顶杆、平衡杠杆、芯轴、轴承座、销轴、轴承、支撑杆、气缸座、小轴、接头、气缸安装板、气缸。气缸通过平衡杠杆驱动顶杆，带动浮动头及橡胶垫为反射镜提供支撑力。其优点是：安装在橡胶垫和浮动头之间的面力传感器，可检测浮动支撑对反射镜的接触力大小及分布。精确控制气缸气压大小可控制支撑力的大小，力重复性高。平衡杠杆及气缸随芯轴通过轴承安装在轴承座上，可在轴承座内自由转动，顶杆会自动保持在竖直向上的方向，方便为镜子提供竖直向上的支撑力。 |
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