| 专利名称 | 压电执行梁结构 | 申请号 | CN201610159349.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105810813A | 公开（授权）日 | 2016.07.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 司朝伟;韩国威;赵永梅;宁瑾;杨富华 | 主分类号 | H01L41/047(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L41/047(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I | 专利有效期 | 压电执行梁结构 至压电执行梁结构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种压电执行梁结构，包括：一衬底电极，该衬底电极为矩形；一锚点，其制作在衬底电极上背面纵向的一侧；一压电层，其制作在衬底电极上；一第一上电极，其制作在压电层上横向的一侧；一第二上电极，其制作在压电层上横向的另一侧，该第一上电极和第二上电极不接触。本发明具有压电位移响应大、结构和制备工艺简单、可靠性高的特点。 |
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