| 专利名称 | 一种用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置 | 申请号 | CN201410787348.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105762055A | 公开（授权）日 | 2016.07.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘本康;王利;王艳秋;边晨光;李晓营 | 主分类号 | H01J49/26(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J49/26(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置 至一种用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置。所述用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置包括等离子体-小分子反应单元(1)，飞秒激光电离系统(2)，离子提取系统(3)，质量分析器(4)，真空腔体(5)。其中，纳秒激光溅射固体靶材用于产生等离子体，气相小分子经过毛细管进入等离子体产生区域，并且与等离子体在靶材表面附近发生反应。采用飞秒激光电离技术对反应产物进行电离，最后，结合飞行时间质谱技术对反应产物进行分析并加以确认。该装置可以准确、高效、实时地表征等离子体与气相分子反应的产物构成，为生产加工过程中所存在的实际的等离子体与气体反应的准确认知提供模型支持。 |
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