| 专利名称 | 一种真空设备用可伸缩气体源装置 | 申请号 | CN201721259910.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207452251U | 公开（授权）日 | 2018.06.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学 | 发明（设计）人 | 李昕;史浩飞;杨小东;唐文新 | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空设备用可伸缩气体源装置 至一种真空设备用可伸缩气体源装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在圆环上；外部气体连接管，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通；电极导入装置，与伸缩管相对于固定座异侧布置。本实用新型装置用以在高真空环境中进行反应，生长过程的原位观测，同时本实用新型提出一种利用脉冲局域的气体供应，可以在脉冲停止的时间窗口获得较好的真空度，从而可以利用该窗口来获得样品信息。 |
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