| 专利名称 | 光刻投影物镜热像差在线预测方法 | 申请号 | CN201710440136.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107121893A | 公开（授权）日 | 2017.09.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 茅言杰;李思坤;王向朝 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻投影物镜热像差在线预测方法 至光刻投影物镜热像差在线预测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻投影物镜热像差在线预测方法。本方法在光刻照明参数和掩模配置以及工作时序确定的情况下，在曝光间隙通过热像差传感器测量热像差，基于双指数模型建立像质参数的状态转移方程，结合测量数据利用粒子滤波算法预测曝光期间投影物镜的热像差。相比于在先技术，本发明可以更为快速准确地预测投影物镜的热像差。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障