| 专利名称 | 一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法 | 申请号 | CN201611258814.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106876229A | 公开（授权）日 | 2017.06.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 王兴;田进寿 | 主分类号 | H01J9/32(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J9/32(2006.01)I;H01J37/04(2006.01)I;H01J37/248(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;H01J43/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法 至一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于光电器件技术领域，涉及一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法。该电极引线单元包括玻璃基板、玻璃管壳和多个电极引线；玻璃管壳熔接于玻璃基板的表面；电极引线分布于玻璃管壳与玻璃基板的熔接面上，电极引线一端位于玻璃管壳的内侧，电极引线的另一端位于玻璃管壳的外侧。本发明制作的电极引线单元以及不受阳极末端可伐合金丝直径的限制，因此可制作具有上百个读出通道的真空光电器件。电极尺寸最小可以到数十微米，利于实现高密度电极引线的制作，适用于混合型光电探测器、多阳极光电倍增管等多种真空光电器件，在高能物理、宇宙探测、微光夜视、医疗仪器等多个领域有广泛的应用前景。 |
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