| 专利名称 | 一种适用于氟化钙凹锥镜高效加工的联合工艺方法 | 申请号 | CN201610838489.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106271901A | 公开（授权）日 | 2017.01.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 钟显云;张郅昂;杨金山;陈强;李良红 | 主分类号 | B24B1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B1/00(2006.01)I;B24B13/00(2006.01)I;B24B13/01(2006.01)I | 专利有效期 | 一种适用于氟化钙凹锥镜高效加工的联合工艺方法 至一种适用于氟化钙凹锥镜高效加工的联合工艺方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种适用于氟化钙凹锥镜高效加工的联合工艺方法，该方法充分考虑了氟化钙晶体的材料特性及凹锥面异形结构特性，将加工流程分为成型、面形精度提升、粗糙度提升三个环节并分别采用直线成型铣磨、金刚石车削技术及直线磁力棒磨削三种联合工艺进行加工，对氟化钙凹锥的直线度、锥角度、面形精度、粗糙度等技术瓶颈进行各个击破。该联合工艺加工效率高，锥角精度准确，面形精度及粗糙度可控、稳定，突破了国内现有工艺无法加工氟化钙凹锥异形曲面的技术瓶颈，为我国开展光刻机投影曝光光学系统的研制提供技术保障。 |
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