激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法

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专利名称 激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法 申请号 CN201610221179.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105806479A 公开(授权)日 2016.07.27 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 段亚轩;李晶;陈永权;赵建科;刘尚阔;田留德;李坤;王涛;薛勋;赵怀学;潘亮 主分类号 G01J1/42(2006.01)I IPC主分类号 G01J1/42(2006.01)I;G01J9/00(2006.01)I 专利有效期 激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法 至激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种的激光远场焦斑高精度动态诊断装置及方法,旨在解决现有技术分辨率低、误差大的弊端。本发明包括依次设置在同一光路上的单模光纤激光器、准直镜、可变光阑、分束镜、取样镜、缩束/扩束系统、反射镜、多通道二元光学元件、CCD探测器;还包括设置在分束镜反射光路上的参考积分球功率计,设置在反射镜反射光路上的测量积分球功率计,以及同时与参考积分球功率计、测量积分球功率计以及CCD探测器相联的控制计算机。本发明可实现对不同口径大小的激光光束的远场焦斑诊断,具有精度高、测量结果置信度高、稳定性好的优点。

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