氮化物超辐射发光二极管及其制备方法

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专利名称 氮化物超辐射发光二极管及其制备方法 申请号 CN201410776660.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105762236A 公开(授权)日 2016.07.13 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 孙逸;孙钱;刘建平;张书明;张立群;李德尧;杨辉 主分类号 H01L33/00(2010.01)I IPC主分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/20(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/34(2010.01)I 专利有效期 氮化物超辐射发光二极管及其制备方法 至氮化物超辐射发光二极管及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种氮化物超辐射发光二极管(SLD),包括衬底以及外延结构层,所述外延结构层包括依次形成于衬底上端面的缓冲层、下光学限制层、下波导层、有源层、上波导层、电子阻挡层、上光学限制层和电极接触层,其中所述衬底下端面上还设有下电极,而在所述电极接触层上设有上电极,其特征在于所述外延结构层上部包含有脊型波导结构,所述脊型波导结构主要由直线区、弧形区和倾斜区中的任意两种以上的组合构成。本发明还公开了前述SLD的制备方法。本发明的SLD器件兼具高输出功率和高质量的输出光谱,稳定性好,使用寿命长。

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