| 专利名称 | 一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机 | 申请号 | CN201721422921.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207337074U | 公开（授权）日 | 2018.05.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院;张家港奇点光电科技有限公司 | 发明（设计）人 | 谭艾英;杨若夫;孙秀辉;尹韶云;蔡文涛;陈建军 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机 至一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置，包括滑动基板，滑动基板上固定有LED光源模块，两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合；目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx，Y方向的尺寸为Ly，LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1，Y方向的尺寸为Ly1；若Lx＜Ly，所需LED光源模块的数量N＝Lx/Lx1，滑动基板的滑动方向与Y方向相同；若Lx＞Ly，所需LED光源模块的数量N＝Ly/Ly1，滑动基板的滑动方向与X方向相同。该曝光装置利用相互错开排列的LED光源模块扫描形成大面积均匀的照明光斑，降低了成本。 |
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