| 专利名称 | 一种位移测量光学系统 | 申请号 | CN201710123810.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106643478A | 公开（授权）日 | 2017.05.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 姚东;沈宏海;李全超;陈成;张嬛 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种位移测量光学系统 至一种位移测量光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种位移测量光学系统，包括激光光源、第一偏振分光棱镜、导光棱镜组、反射镜、偏振变换元件、第二偏振分光棱镜、光电转换器和处理系统。本发明位移测量光学系统，采用偏振分光元件对光源输出光进行分光，以偏振光作为参考光和测量光，基于激光干涉测量原理实现对物体位移的测量，可实现对大范围位移的高精度测量，并且与现有技术相比，本光学系统分光时对光源输出光能量损失小，提高了光源能量利用率，并且具有紧凑结构。 |
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