| 专利名称 | 一种薄膜应力测试用衬底夹具 | 申请号 | CN201721042157.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207300461U | 公开（授权）日 | 2018.05.01 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 主分类号 | G01L1/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L1/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种薄膜应力测试用衬底夹具 至一种薄膜应力测试用衬底夹具 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种薄膜应力测试用衬底夹具，属于夹具技术领域包括基座和夹片；基座上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔；夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在装夹部上，且基座的一端还设置有悬挂孔。本方案中，装夹部可以是平槽，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在平槽上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障