| 专利名称 | 基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片 | 申请号 | CN201721095133.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207281318U | 公开（授权）日 | 2018.04.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 马冲;陈刚;刘定权;李大琪 | 主分类号 | G02B1/115(2015.01)I | IPC主分类号 | G02B1/115(2015.01)I;G02B27/28(2006.01)I | 专利有效期 | 基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片 至基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片。该保偏分色片以石英为基底，Ta2O5和SiO2分别作为高、低折射率镀膜材料，光线22.5°倾斜入射。采用离子束溅射薄膜沉积工艺，基片的一侧镀制保偏分色膜层，实现光谱分色控制以及保偏控制；基片的另一侧镀制应力匹配的增透膜层，在保证保偏分色片分色性能及保偏性能的同时，抵消主镀膜面的部分应力值，减小主镀膜表面的曲率半径，实现保偏分色片面形的控制。其应用于量子通信实验中，具有分色性能高效，保偏性能优异，面形可控等特点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障