| 专利名称 | 具有位置调节功能的嵌套式支承结构 | 申请号 | CN201720875513.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207301618U | 公开（授权）日 | 2018.05.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 齐威;齐月静;王宇;卢增雄;杨光华;李兵;刘斌;郭馨 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 具有位置调节功能的嵌套式支承结构 至具有位置调节功能的嵌套式支承结构 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及具有位置调节功能的嵌套式支承结构，其包括内支承架和支承并调节所述内支承架的外支承架，内支承架设置有沿横向X方向和纵向Y方向凸出的多个突出部；外支承架由沿横向X方向延伸的两个相对布置的横向延伸部和沿纵向Y方向延伸的两个相对布置的纵向延伸部构成，使得外支承架成型为沿着内支承架的四周围绕内支承架，并且外支承架设置有分别与内支承架的突出部相对应的开口，使得内支承架的突出部能够嵌入外支承架的开口中，从而使外支承架以嵌套的形式支承内支承架。其中，外支承架在开口处分别设置有位置调节件，位置调节件能够沿横向X方向、纵向Y方向和竖向Z方向作用于内支承架的相应突出部，从而调节内支承架的六自由度。 |
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