| 专利名称 | 一种硅片传输手动机械手 | 申请号 | CN201610548948.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106181954A | 公开（授权）日 | 2016.12.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 杜婧;胡松;刘俊伯;周毅;邓钦元;邓茜 | 主分类号 | B25J1/12(2006.01)I | IPC主分类号 | B25J1/12(2006.01)I | 专利有效期 | 一种硅片传输手动机械手 至一种硅片传输手动机械手 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种硅片传输手动机械手，包括机械手座、升降旋转机构、取放片机构；机械手座为整个机械手的基座；升降旋转机构通过内部特殊结构，实现机械手的升降和旋转运动，其通过机械臂中轴与机械手座连接，机械臂中轴可在机械手座上调节安装高度，并且通过顶丝锁紧；取放片机构固定在机械手升降旋转机构上，其机械臂内部开通长孔，通过调节通气杆可实现机械臂取放片台真空的得失，从而实现硅片的取片与放片；升降旋转机构中的限位筒可对取片与放片的位置进行限位；该发明可与光刻机及硅片预对准台配合使用，具有成本低、操作方便及效率高的优点。 |
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