| 专利名称 | 一种长程面形测量仪 | 申请号 | CN201610100965.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105737758A | 公开（授权）日 | 2016.07.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 发明（设计）人 | 彭川黔;何玉梅;王劼 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种长程面形测量仪 至一种长程面形测量仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种长程面形测量仪，用于对待测光学器件的表面进行面形检测，其包括扫描光学头和f?θ角度检测系统，所述扫描光学头包括面光源、分束镜、单孔屏以及平面反射镜，所述面光源水平放置，所述分束镜倾斜地设置在所述面光源下方，所述单孔屏紧贴在所述分束镜底面，所述平面反射镜倾斜地设置在所述单孔屏下方并与所述分束镜构成类五棱镜结构的双反射面。本发明减少了测量不同角度时测量光束横移引入的系统误差，从而提高了测量精度。 |
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