| 专利名称 | 激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法 | 申请号 | CN201610580128.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106227000A | 公开（授权）日 | 2016.12.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 魏劲松;魏涛 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I | 专利有效期 | 激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法 至激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法，其特征在于当准直的激光束聚焦到非线性材料时，诱导出材料的非线性特性。由于激光强度的高斯分布特点，使激光中心区域的能量最高，并沿着径向逐渐减弱，激光能量转化为材料的温度差，从而在非线性材料内部诱导产生瞬态热探针。在光刻过程中，激光束打开，热探针形成；激光束关闭，热探针消失。形成的热探针随着激光束自由移动，热探针的形成与关闭是动态的、可逆的。本发明简单实用，不需要复杂的操作，特别适用于透明材料的微纳结构制造，能获得纳米尺度的特征线宽。 |
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