| 专利名称 | 一种高精度平面子孔径拼接检测方法 | 申请号 | CN201610223513.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105890541A | 公开（授权）日 | 2016.08.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱鹏辉;唐锋;卢云君;王向朝;方伟;李杰;彭尝哲 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高精度平面子孔径拼接检测方法 至一种高精度平面子孔径拼接检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种高精度平面子孔径拼接检测方法，包含搭建子孔径拼接检测装置；对待测光学元件的该部分面形进行测量，得到该子孔径面形数据并保存；计算重叠区域局部斜率差：利用重叠区域局部斜率差通过第4项和第6项Zernike像差拟合准参考镜面形；减去所拟合的准参考镜面形，得到去除准参考镜面形的子孔径面形数据；去倾斜和平移得到全口径面形。本发明能够有效去除x方向和y方向两种拼接累积误差，同时保证拼接连续而没有拼接痕迹，提高了平面面形子孔径拼接检测的精度，不需要增加额外的辅助部件或标定流程，具有易实现、精度高、不增加系统成本的优点。 |
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