一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置及方法

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专利名称 一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置及方法 申请号 CN201610261003.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105824117A 公开(授权)日 2016.08.03 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 吕涛;乔永明;王瑞;靳虎敏;阮萍;郝伟 主分类号 G02B26/08(2006.01)I IPC主分类号 G02B26/08(2006.01)I 专利有效期 一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置及方法 至一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种快速反射镜系统中压电陶瓷驱动器的预紧装置和预紧方法,以解决现有技术只能施加单一固定的未知量预紧力的弊端。该装置包括与压电陶瓷驱动器数量一致的多组差动微调锁紧组件和位移传感器;每组差动微调锁紧组件包括差动螺杆、接触块和锁紧顶丝,差动螺杆通过螺纹配合安装在快速反射镜镜座上;接触块位于压电陶瓷驱动器顶部的半球顶尖和差动螺杆之间,接触块的上端与差动螺杆通过螺纹配合连接,由差动螺杆带动接触块上下移动;锁紧顶丝用于锁紧接触块,防止接触块上下窜动;位移传感器设置在靠近接触块和半球顶尖的位置,用于反馈在压电陶瓷驱动器驱动下镜座待测点的位移变化量。本发明可定量控制施加在压电陶瓷驱动器的预紧力。

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