| 专利名称 | 利用空间光调制器作检测标记的波像差检测系统及检测方法 | 申请号 | CN201610115181.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105699057A | 公开（授权）日 | 2016.06.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 方伟;唐锋;王向朝;朱鹏辉;李杰;孟泽江 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 利用空间光调制器作检测标记的波像差检测系统及检测方法 至利用空间光调制器作检测标记的波像差检测系统及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种利用空间光调制器作为检测标记的波像差检测系统及检测方法。该波像差检测系统包括：相干点光源，作为检测标记的二维空间光调制器和二维光电传感器。其中二维空间光调制器是由很多像素单元组成的二维阵列，每个像素单元都能独立地对入射光实现开启和关闭两种状态，像素单元在开启状态下能实现入射光的透射(或反射)，而在关闭状态下则阻止入射光的透射(或反射)。利用本发明的波像差检测系统检测待测投影物镜的波像差，可以去除系统中精密机械扫描部件，提高了系统的紧凑性和稳定性；消除测量过程中系统对检测标记的扫描过程及检测标记对照明光波的配准过程，提升了系统的检测速度。 |
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