| 专利名称 | 磁性封装微机器人及其制备方法 | 申请号 | CN201610973129.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106517081A | 公开（授权）日 | 2017.03.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 李晖;陈静;张南南;王磊 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 磁性封装微机器人及其制备方法 至磁性封装微机器人及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种生物相容性封装的磁性微机器人的制备方法，包括：提供硅片，在硅片上制备Omnicoat牺牲层；在Omnicoat牺牲层上旋涂SU?8光刻胶形成SU?8基层；得到第一预制层结构；进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；在SU?8基层上涂覆磁性复合材料，进行烘烤；进行图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作,去离子水清洗，风干；涂覆SU?8光刻胶；进行烘烤；图形化曝光；在65℃烘烤2分钟，然后在95℃烘烤2分钟；进行显影操作，去离子水清洗，风干；得到生物相容性封装的磁性微机器人。上述磁性封装微机器人生物相容性和耐化学性较好。 |
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