空穴型半导体电控量子点器件和装置

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专利名称 空穴型半导体电控量子点器件和装置 申请号 CN201720754015.6 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN207068864U 公开(授权)日 2018.03.02 申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 李海欧;袁龙;王柯;张鑫;郭光灿;郭国平 主分类号 H01L29/66(2006.01)I IPC主分类号 H01L29/66(2006.01)I;H01L21/18(2006.01)I;B82Y10/00(2011.01)I 专利有效期 空穴型半导体电控量子点器件和装置 至空穴型半导体电控量子点器件和装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了空穴型半导体电控量子点器件。其包含非掺杂GaAs衬底(101)、非掺杂AlGaAs层(102)和表面非掺杂GaAs盖帽层(103);欧姆接触源极(201)和漏极(204),依次穿过表面非掺杂GaAs盖帽层(103)和非掺杂AlGaAs层(102),进入非掺杂GaAs衬底(101)至少5nm;至少两个量子点小电极(402),位于欧姆接触源极(201)和漏极(204)之间,处于表面非掺杂GaAs盖帽层上(103);绝缘层(500),覆盖表面非掺杂GaAs盖帽层(103)、量子点小电极(402)、以及欧姆接触源极(201)和漏极(204)的至少一部分;和栅极纳米条带(602),设置在绝缘层(500)上,并且水平投影与欧姆接触源极(201)、漏极(204)以及量子点小电极(402)均有交叠。还公开了一种量子点装置。

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