一种光谱共焦测量系统标定装置

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专利名称 一种光谱共焦测量系统标定装置 申请号 CN201720388267.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN207050670U 公开(授权)日 2018.02.27 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 卢增雄;齐月静;王宇;刘广义;齐威;苏佳妮;杨光华;李兵 主分类号 G01B11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/02(2006.01)I;G01B21/02(2006.01)I 专利有效期 一种光谱共焦测量系统标定装置 至一种光谱共焦测量系统标定装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种光谱共焦测量系统标定装置,该装置包括可调谐激光器、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移台、位移传感器、光谱仪和计算机。该装置以可调谐激光器发出的波长已知的单色光作为光谱共焦测量系统的工作波长,通过位移传感器测量被测物的位置信息,以光谱仪的最大幅值光谱信号作为判断依据,同时获得被测物的位移大小、可调谐激光器出射激光光束的波长大小以及光谱仪中幅值最大的光谱信号其峰值位置所对应的像素编号,从而建立光谱仪像素编号和波长的关系以及波长和位移的关系,有效降低了对光谱共焦测量系统中色散物镜线性度的要求,并提高光谱共焦测量系统的测量精度。

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