| 专利名称 | 一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置 | 申请号 | CN201720603943.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207007672U | 公开（授权）日 | 2018.02.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 虞慧娴;杨建荣;孙士文 | 主分类号 | G01N17/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N17/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置 至一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置，装置由样品腐蚀单元、自动进液单元、废液回收单元和观察测控单元组成。将样品固定在可进行光学观察的腐蚀槽中，通过自动进液单元实现一种或多种腐蚀液和清洗液的自动注入、动态更新和顺序切换，过程中产生的废液由废液回收单元即时回收，观察测控单元集成了显微镜、CCD相机、测控软件以及存储设备，对材料腐蚀的微观过程进行实时观察、采集、显示和存储。本专利能够实时观察记录材料腐蚀坑从产生到消失的动态过程，能够在固定显微视场下原位完成多步腐蚀清洗工艺，能够实现腐蚀过程中腐蚀液的动态更新，有效提高了工艺的可控性、连续性和稳定性，同时改善了腐蚀效果。 |
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