| 专利名称 | 一种基于夏克 哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置 | 申请号 | CN201720397461.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206990194U | 公开（授权）日 | 2018.02.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 齐月静;卢增雄;齐威;苏佳妮;杨光华;张清洋;李兵;王宇 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于夏克 哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置 至一种基于夏克 哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种基于夏克 哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置，该装置包括波长可调谐激光器、衰减器、聚焦物镜、Y型光纤耦合器、第一五维调整台、第一物镜、第一小孔板、准直物镜、分光板、第一夏克 哈特曼波前传感器、成像物镜、待测光学系统、球面反射镜、第二夏克 哈特曼波前传感器和数据处理模块。该测量装置结合了第一夏克 哈特曼波前传感器和第二夏克 哈特曼波前传感器，从测量结果中计算待测光学系统的波像差，只需一套测量装置便可实现不同工作波长光学系统像差的测量。 |
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