大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置及方法

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专利名称 大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置及方法 申请号 CN201610590665.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106840023A 公开(授权)日 2017.06.13 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 张学军;程强;薛栋林;陈新东;李锐钢 主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I 专利有效期 大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置及方法 至大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了大口径复杂曲面光学参数精确测试和标定装置,该装置针对待测复杂曲面进行测试和标定;该装置采用测试标定模块获取激光干涉仪检测得到的复杂曲面的面形,并发出控制信号给激光干涉仪、补偿元件以及待测复杂曲面的调整机构,控制调整机构对三者的相对位置和相对角度的调整,使得复杂曲面的面形的均方根误差最小且离焦量为零;采用变换矩阵标定机构,标定激光跟踪仪在转站过程中的坐标变换矩阵;基于坐标变换矩阵,将面形数据进行坐标变换到同一坐标系中;对同一坐标系中的所有面形数据进行建模分析并计算,然后对待测复杂曲面的光学检验补偿器设计结果并进一步优化,优化结果即为基于反射镜实测参数的最优光学检验补偿器设计结果。

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