| 专利名称 | 旁热式微传感器及其制造方法 | 申请号 | CN201610898632.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106629575A | 公开（授权）日 | 2017.05.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 陈滢;李昕欣;陈传钊 | 主分类号 | B81B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 旁热式微传感器及其制造方法 至旁热式微传感器及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种旁热式微传感器及其制造方法，包括：衬底，衬底内形成有凹槽；焊盘，位于凹槽外围的衬底表面；旁热式微传感器主体，位于凹槽的上方，包括：主体支撑层、旁式加热元件、第一绝缘层及敏感电极，旁式加热元件及敏感电极位于主体支撑层表面，且旁式加热元件位于敏感电极的外侧，第一绝缘层位于旁式加热元件表面；支撑梁，位于衬底及旁热式微传感器主体之间，适于将旁热式微传感器主体固支于衬底上；疏水疏油层，位于第一绝缘层表面、裸露的主体支撑层表面、裸露的衬底表面及支撑梁表面。本发明采用旁热式结构，减少了敏感材料所在区域绝缘层漏电对于敏感测试信号造成的干扰，在敏感电极区域实现简易的自对准式液态敏感材料上载。 |
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