| 专利名称 | 基于柔性铰链的三维纳米工作台 | 申请号 | CN201720851379.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206946949U | 公开（授权）日 | 2018.01.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 发明（设计）人 | 查卿;钟君;成贤锴;于涌 | 主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 基于柔性铰链的三维纳米工作台 至基于柔性铰链的三维纳米工作台 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种基于柔性铰链的三维纳米工作台，其包括：柔性铰链底座(10)，包括依次嵌套并通过柔性铰链连接的外框(11)、中框(12)及内框(13)；第一驱动器(21)，连接在中框(12)和内框(13)之间以驱动内框(13)沿X向移动；第二驱动器(22)，连接在外框(11)和中框(12)之间以驱动中框(12)沿Y向移动；第三驱动器(23)，设置在内框(13)上；载物台(30)，设置在第三驱动器(23)上，在第三驱动器(23)的作用下，载物台(30)沿Z向移动。本实用新型的技术方案有效的解决了现有技术中三维工作台结构复杂的问题。 |
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