| 专利名称 | 干燥及预钝化装置 | 申请号 | CN201720581572.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206902221U | 公开（授权）日 | 2018.01.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 郭馨;丁金滨;刘斌;张立佳;周翔;王宇;赵江山 | 主分类号 | C23C8/08(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C8/08(2006.01)I;C23C8/02(2006.01)I | 专利有效期 | 干燥及预钝化装置 至干燥及预钝化装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种干燥及预钝化装置，包括气室及分别与气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中：气室用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；抽真空单元用于吸入/排出空气，使气室处于真空/常压状态；钝化气体控制单元用于在气室处于真空状态时，向气室内注入钝化气体以对零部件进行预钝化，还用于在预钝化完成后，气室处于常压状态时将钝化气体排出；总控制单元，在气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，用于根据气室内的温度信息，向气室提供热量。该装置可在真空条件下对零部件同时进行干燥和预钝化处理，使得零部件表面生成稳定保护层，防止零部件在后续装配、使用中碳、氢、氧等其他元素的污染，提高零部件的抗腐蚀能力和可靠性。 |
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