专利名称 | 一种微位移测量装置 | 申请号 | CN201720342171.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN206905706U | 公开(授权)日 | 2018.01.19 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电研究院 | 发明(设计)人 | 王宇;卢增雄;齐月静;苏佳妮;齐威;杨光华;张清洋;李兵 | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微位移测量装置 至一种微位移测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提出一种微位移测量装置,该装置包括白光宽光谱光源、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、光纤连接器、多分支光纤、光谱仪和计算机。本实用新型通过采用多个固定光栅的微型光谱仪,在提高系统分辨率的同时可使整个系统保持较小的体积,实现了高分辨率便携式的微位移测量。 |
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