一种微位移测量装置

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专利名称 一种微位移测量装置 申请号 CN201720342171.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN206905706U 公开(授权)日 2018.01.19 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 王宇;卢增雄;齐月静;苏佳妮;齐威;杨光华;张清洋;李兵 主分类号 G01B11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/02(2006.01)I 专利有效期 一种微位移测量装置 至一种微位移测量装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型提出一种微位移测量装置,该装置包括白光宽光谱光源、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、光纤连接器、多分支光纤、光谱仪和计算机。本实用新型通过采用多个固定光栅的微型光谱仪,在提高系统分辨率的同时可使整个系统保持较小的体积,实现了高分辨率便携式的微位移测量。

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