| 专利名称 | 一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置 | 申请号 | CN201720439924.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206872946U | 公开（授权）日 | 2018.01.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院金属研究所 | 发明（设计）人 | 姜辛;刘鲁生;黄楠;杨兵;王宜豹 | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 专利有效期 | 一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置 至一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。本实用新型结构简单、成本低廉，制备出的金刚石刀具涂层厚度均匀、金刚石薄膜质量高。 |
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