| 专利名称 | CO2激光束抛光装置 | 申请号 | CN201610135735.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105772946A | 公开（授权）日 | 2016.07.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 邵建达;贺婷;魏朝阳;廖洋;徐学科 | 主分类号 | B23K26/352(2014.01)I | IPC主分类号 | B23K26/352(2014.01)I;B24B13/00(2006.01)I | 专利有效期 | CO2激光束抛光装置 至CO2激光束抛光装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种CO2激光束抛光装置，包括脉冲或连续CO2激光器及激光功率控制系统、光束整形系统、自动聚焦系统、扫描系统、温控和四维平台联动系统。本发明是利用激光加工技术与自动化控制技术相结合，对光学元件进行高精度抛光的装置。本发明可广泛应用于各种面形的光学元件，如平面、球面、非球面等，特别是小型复杂面形。 |
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