| 专利名称 | 衬底 | 申请号 | CN201720388304.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206804195U | 公开（授权）日 | 2017.12.26 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 主分类号 | G01L5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 衬底 至衬底 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型实施方式公开了一种衬底，属于薄膜领域的技术方案，其核心在于所述衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，所述测量面为抛光面；此方案可采用光杠杆法对所述衬底的测量面进行曲率半径测量，得出R'0(镀薄膜前)和R'(镀薄膜后)，最后代入薄膜应力计算公式便可得出薄膜应力σ，此方法对薄膜的反光能力并无要求，只要保证衬底的测量面为抛光面，便可应用光杆杠法得出薄膜应力σ，解决现有技术必须薄膜实现反光才能测量薄膜应力的问题。 |
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