| 专利名称 | 一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀 | 申请号 | CN201720481124.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206786040U | 公开（授权）日 | 2017.12.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 杨玖重;陈夏敏;文武;李天宇;潘洋 | 主分类号 | F16K3/02(2006.01)I | IPC主分类号 | F16K3/02(2006.01)I;F16K3/314(2006.01)I;F16K3/30(2006.01)I;F16K31/60(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀 至一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀。该超薄插板阀的整体厚度小于8mm；包括阀安装件、阀体机构和直线导入器；阀安装件为板状，中部开设有通孔，一侧面设有一对导轨；阀体机构包括阀板，阀板的中部开设有阀孔，上端活动连接着直线导入器；工作时，阀体机构在直线导入器的作用下，沿一对导轨实现上下移动；当阀体机构上移至上止点，使阀孔和通孔重合贯通时，超高真空超薄插板阀为打开状态；当阀体机构下移至下止点，使阀孔和通孔完全不贯通时，超高真空超薄插板阀为关闭状态。本实用新型在不增加样品与电离点距离的情况下，实现了质谱探测器与束源室之间的快速隔离，提升了换样效率，提高了运行精度及稳定性。 |
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