| 专利名称 | 用于超大口径凸扁球面检测的光学系统 | 申请号 | CN201720603792.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN206803957U | 公开（授权）日 | 2017.12.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨珂;郝沛明;刘云芳;张金平;郑列华 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 用于超大口径凸扁球面检测的光学系统 至用于超大口径凸扁球面检测的光学系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种用于超大口径凸扁球面检测的光学系统。该检测光学系统包括平面干涉仪、折反射式球面弯月透镜，其中折反射式球面弯月透镜的折射部分用于补偿待检凸扁球面镜的三级像差、反射部分反射待检凸扁球面镜的出射光线形成自准光路。本专利所述的检测光学系统针对超大口径的凸扁球面镜检测，在保证检测精度的同时降低了补偿器的加工装配难度、减少了误差因素的来源并降低了补偿系统的成本。本专利具有测量口径大、检测光路简单的特点。 |
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