| 专利名称 | 连续面形石英微光学元件机械-刻蚀复合加工方法 | 申请号 | CN201610213364.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105738980A | 公开（授权）日 | 2016.07.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 发明（设计）人 | 张为国;朱国栋;张东;熊欣;刘风雷;史浩飞;杜春雷 | 主分类号 | G02B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 连续面形石英微光学元件机械-刻蚀复合加工方法 至连续面形石英微光学元件机械-刻蚀复合加工方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种连续面形石英微光学元件机械?刻蚀复合加工方法，主要采用高分子材料涂覆及固化、金刚石超精密切削掩模、等离子体刻蚀工艺流程。该方法可实现石英材质微透镜列阵、微柱透镜、菲涅尔透镜等微光学元件的高精度制作，为紫外波段高质量微光学元件的精确制作提供一种有效的解决方案，推动小型化、集成化、紧凑型光电设备的发展。 |
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